更新時(shí)間：2025-06-23
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廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
型號：UTM70B
| 品牌 | ULVAC/日本愛發(fā)科 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
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日本ULVAC愛發(fā)科復(fù)合渦輪分子泵
日本ULVAC愛發(fā)科復(fù)合渦輪分子泵
特征
自由安裝
安裝方向不受限制 由于安裝方向自由，系統(tǒng)設(shè)計(jì)的自由度很高。
板載控制器
集成控制器能夠減少電線工作并縮小泵送系統(tǒng)的尺寸。
高壓縮比和高背壓
高壓縮比使得泵能夠在高背壓下運(yùn)行并縮小其
前級泵的尺寸。
三種法蘭
入口口法蘭可從 ISO-K、ICF 和 VG 中選擇。
清潔的真空環(huán)境
在泵運(yùn)行和停止時(shí)，碳?xì)浠衔餁怏w的回流較少。
低噪音
空載時(shí)的噪音水平為 48dB 或更低（帶 ISO63-K 法蘭）
用于分析設(shè)備、研發(fā)系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等的主要泵送系統(tǒng)。
蒸發(fā)器和濺射設(shè)備等的主泵送系統(tǒng)
主泵送系統(tǒng)，用于抽空 H2、He 等低分子氣體
| 型 | UTM70B 系列 | UTM300B | |||||
| 泵 | 咕咕法 | 自然風(fēng) 冷 | 強(qiáng)制風(fēng) 冷 | 自然風(fēng) 冷 | 強(qiáng)制風(fēng) 冷 | ||
| 法蘭尺寸 | 入口 *1 | VG65、ICF114、ISO063-K | VG100、ICF152、ISO100-K | ||||
| 出口 | KF16 系列 | KF16 系列 | |||||
| 抽速 （無 保護(hù)網(wǎng)） | 注2 | 70 升/秒 | 280 升/秒 | ||||
| 他 | 60 升/秒 | 270 升/秒 | |||||
| H2 型 | 49 升/秒 | 220 升/秒 | |||||
| 極限 壓力 *2 | 烘烤后 | - *3 | 10-8帕 | - *3 | 10-8帕 | ||
| 烘烤 | 10-6帕 | 10-6帕 | 10-6帕 | ||||
| 最大壓縮率 | 注 2 ： >1×109， 他 ： 4×107、H2 ： 4×105 | 注 2 ： >1×109， 他 ： 7×106,H2 ： 1×105 | |||||
| 入口 處的最大壓力 *4， *5， *6 | 注2 | 0.43帕 | 1.1帕 | 0.06帕 | 0.7帕 | ||
| 出口 處的最大壓力 *4， *5， *7 | 注2 | 300帕 | 900帕 | 100帕 | 1000帕 | ||
| 連續(xù) 運(yùn)行 最大 流量 *8 | 無 氣體吹掃 | 注2 | 15sccm *9 | 40sccm *9 | 10 厘米 *10 | 100 平方厘米 *10 | |
| 無 氣體吹掃 | 氦氣 | - | 10sccm *9 | - | 30 厘米 *10 | ||
| 帶 氣體吹掃 | - | 15sccm *9 | - | 40 厘米 *10 | |||
| 推薦前級泵 （抽真空 10SCCM 時(shí)） *11 | >60升/分鐘 | >120升/分鐘 | |||||
| 重量 | VG：3.3kg， ISF：3.0kg， ISO：5.0kg | 6.0 公斤 / 9.0 公斤 | 6.3 公斤 / 9.3 公斤 | ||||
| 轉(zhuǎn)速 | 87000轉(zhuǎn) | 60000轉(zhuǎn) | |||||
| 啟動(dòng)時(shí)間（高達(dá) 80%） （DC24V.背壓：5Pa 或更低） | 1.7 分鐘 | 3.5 分鐘 | |||||
| 表面處理 *12 | 沒有 | ||||||
| 安裝方向 | 自由方向 | ||||||
| 噪聲 *13 | <48分貝（A） | <50分貝（A） | |||||
| 控制器 | 輸入電源 | DC24V ±5%，120W | DC24V ±5%，180W | ||||
| 觸點(diǎn)輸入和輸出 信號 | REMOTE（D-sub 15 pin 公頭） 數(shù)字輸入：4 點(diǎn)。輸出：4 點(diǎn)。模擬輸出：1 點(diǎn)。 | ||||||
| 串行通信 | RS-485（D-sub 15 針公頭，與 REMOTE 共享） | ||||||
| LED 顯示屏 | 電源、正常、警報(bào) | ||||||
| 開關(guān) | 啟動(dòng)/停止，重置 | ||||||
| 可變旋轉(zhuǎn)頻率/速度 | 運(yùn)行轉(zhuǎn)速數(shù) 可以從泵規(guī)格的 25% 到 100% 之間以 0.1% 的步長變化。 | ||||||
| 異常作 檢測 | 檢測警報(bào)和警告。 | ||||||
| 保護(hù)電路 | 指示警報(bào)和警告。 | ||||||
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 使用說明書（CD-R）、保護(hù)網(wǎng)（墊圈中僅內(nèi)置 VG 和 ICF、 ISO 法蘭保護(hù)網(wǎng)）、 墊圈（入口法蘭）、防塵帽（入口、出口和連接器） | ||||||
| 適用標(biāo)準(zhǔn) | CE、TUVus | ||||||
| *1 | 訂購時(shí)請選擇入口 flenge。 |
| *2 | 使用 2 級真空泵作為背泵計(jì)算。 |
| *3 | 烘烤僅適用于帶 ICF 法蘭的強(qiáng)制風(fēng)冷型。 |
| *4 | 周圍空氣溫度時(shí)的值為 25°C。如果環(huán)境空氣溫度發(fā)生變化，可接受的值將發(fā)生變化。 |
| *5 | 最大出口壓力和最大入口壓力不能同時(shí)滿足。 |
| *6 | 最大進(jìn)氣口壓力，可接受連續(xù)運(yùn)行。 |
| *7 | 當(dāng)來自入口的氣流為 0 sccm 時(shí)，排氣口的最大壓力可以接受連續(xù)運(yùn)行。 |
| *8 | 環(huán)境溫度為 5~25°C 時(shí)的值。此外，應(yīng)使用 N2 進(jìn)行氣體吹掃，其流速應(yīng)為 25 sccm。 |
| *9 | 使用 60L/min 真空泵作為背泵測量的真空。 |
| *10 | 使用 120L/min 真空泵作為背泵測量的真空。 |
| *11 | 選擇合適的前級泵，以便在氣體流量增加時(shí)，不要將排氣口壓力保持在低于最大排氣口壓力。 |
| *12 | 請勿流動(dòng)反應(yīng)性氣體、腐蝕性氣體和含有鎵的氣體。使用其他氣體時(shí)，請與我們聯(lián)系。 |
| *13 | 該值根據(jù) ISO 法蘭類型的 ULVAC 標(biāo)準(zhǔn)測量。 |
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